Preparation and properties of CdS thin films grown by ILGAR method

来源 :稀有金属：英文版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：stystill

【摘要】

：

CdS thin films were deposited by the ion layer gas reaction (ILGAR) method. Structural, chemical, topographical development as well as optical and electrical pr

【作者】

：

QIUJijun JINZhengguo WUWeibing

【机构】

：

KeyLaboratoryforAdvancedCeramicsandMachiningTechnologyofMinistryofEducation

【出处】

：

稀有金属：英文版

【发表日期】

：

2004年4期

【关键词】

：

CDS薄膜 ILGAR方法薄膜材料生长工艺 CdS thin film preparation and properties ILGAR method an

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CdS thin films were deposited by the ion layer gas reaction (ILGAR) method. Structural, chemical, topographical development as well as optical and electrical properties of as-deposited and annealed thin films were investigated by XRD,SEM, XPS, AFM and UV-

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