影响铝板带表面C元素EDS分析准确度的因素

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扫描电镜(SEM)和能谱仪(EDS)的联用可以便捷地实现铝板材的显微组织观察和成分分析,但是EDS会测试出板材表面大量的C元素从而影响了分析的准确性。从板材加工及试样制备、加速电压选择、和峰处理以及定量标准化4方面进行试验及讨论,提出了提高铝板带表面C元素EDS分析准确度的方法。
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