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激光束的相移膜集束研究
激光束的相移膜集束研究
来源 :青岛大学学报:自然科学版 | 被引量 : 0次 | 上传用户:sory520
【摘 要】
:
本文首次报导了采用Phase-Shifing Marks(PSM)技术实现激光束的集束,实验结果表明PSM技术是一种用于激光集束的有效手段。
【作 者】
:
陆大荣
Leung
AM
【机 构】
:
青岛大学计算机系
【出 处】
:
青岛大学学报:自然科学版
【发表日期】
:
1995年2期
【关键词】
:
集束
激光束
相移膜
集成电路
蕊片
PSM
beam condensationlaser beam phase-shifting masks
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本文首次报导了采用Phase-Shifing Marks(PSM)技术实现激光束的集束,实验结果表明PSM技术是一种用于激光集束的有效手段。
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