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江苏省连云港市晶瑞石英工业开发研究院自主研发的“高频等离子制备球形硅微粉关键技术及产品”。近日通过部级鉴定，并将被纳入国家863计划。球形硅微粉主要用于大规模集成电路封装，在航空、航天、精细化工、可擦写光盘、大面积电子基板、特种陶瓷以及日用化妆品等高新技术领域也使用这种产品。据预计，
我国自主开发的球形硅微粉问世
【摘 要】
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江苏省连云港市晶瑞石英工业开发研究院自主研发的“高频等离子制备球形硅微粉关键技术及产品”。近日通过部级鉴定，并将被纳入国家863计划。球形硅微粉主要用于大规模集成电
【出 处】
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中国石油和化工
【发表日期】
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2005年10期
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