【摘 要】
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论述了哈特曼夏克传感器的测量原理 ,对它的测量精度进行了标定。同时还介绍了哈特曼夏克传感器在光学车间实际测量大口径非球面系统的情况 ,表明哈特曼夏克传感器是一种非常
【机 构】
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中国科学院光电技术研究所,中国科学院光电技术研究所,中国科学院光电技术研究所,中国科学院光电技术研究所 成都610209,成都610209,成都610209,成都610209
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论述了哈特曼夏克传感器的测量原理 ,对它的测量精度进行了标定。同时还介绍了哈特曼夏克传感器在光学车间实际测量大口径非球面系统的情况 ,表明哈特曼夏克传感器是一种非常有效的光学车间检测手段
The measuring principle of Hartmann-Shack sensor is discussed, and its measuring accuracy is calibrated. At the same time, the actual measurement of large diameter aspheric system in the optical workshop by Hartmann Shack sensor is also introduced, which shows that the Hartmann Shack sensor is a very effective optical workshop detection method
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