【摘 要】
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本文根据自参考剪切干涉技术，采用球面补偿自准直原理，提出了一种新型激光干涉球径仪。详细介绍了该球径仪的测量原理、结构及误差分析，并给出了实验测试结果。
In this paper,
【机 构】
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曲阜师范大学物理系，曲阜师范大学激光研究所
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本文根据自参考剪切干涉技术，采用球面补偿自准直原理，提出了一种新型激光干涉球径仪。详细介绍了该球径仪的测量原理、结构及误差分析，并给出了实验测试结果。
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