【摘 要】
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静电梳微谐振子是微机械领域常用的直线型驱动装置。运用梁的理论讨论了一种常见的结构———直脚型结构的振动特性 ,提出了计算结构谐振频率的实用算法。并探讨了影响谐振频
【机 构】
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苏州大学工学院!江苏苏州215021,上海大学轴承研究室!上海200072,上海大学轴承研究室!上海200072
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静电梳微谐振子是微机械领域常用的直线型驱动装置。运用梁的理论讨论了一种常见的结构———直脚型结构的振动特性 ,提出了计算结构谐振频率的实用算法。并探讨了影响谐振频率的几何参数 ,得到的结论对静电梳微谐振子的设计具有指导意义
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