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期刊论文
ZnO薄膜的XPS研究
ZnO薄膜的XPS研究
来源 :半导体光电 | 被引量 : 0次 | 上传用户:annybill1984
【摘 要】
:
利用等离子体增强型MOCVD设备,在C面蓝宝石上生长出了C轴取向的未退火、生长后一次退火和生长过程中多次退火的ZnO薄膜样品,并通过X光衍射和X光电子能谱对样品进行了表征,结
【作 者】
:
王金忠
杨小天
赵佰军
张源涛
刘大力
王海嵩
杨树人
杜国
【机 构】
:
吉林大学
【出 处】
:
半导体光电
【发表日期】
:
2002年6期
【关键词】
:
等离子体增强型MOCVD
X光衍射
光电子能谱
plasmaenhanced MOCVDXRDXPS
【基金项目】
:
国家自然科学基金,国家高技术研究发展计划(863计划)
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利用等离子体增强型MOCVD设备,在C面蓝宝石上生长出了C轴取向的未退火、生长后一次退火和生长过程中多次退火的ZnO薄膜样品,并通过X光衍射和X光电子能谱对样品进行了表征,结果表明生长过程中多次退火的样品具有较高的质量,O/Zn原子比较大,且受空气中氧和水汽的影响最小.
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