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自吸式气体支承静特性的研究
自吸式气体支承静特性的研究
来源 :电子工业专用设备 | 被引量 : 0次 | 上传用户:fromgz
【摘 要】
:
<正> 绪 言 气体静压支承采用 粘度较小的气体作为润 滑剂,具有以下几方面 的特点:(1)摩擦阻 力小,运动速度快; (2)运转平滑、精度高, 低速运动无爬行;(3)耐高、低温性能好,
【作 者】
:
潘晋
徐丰仁
【机 构】
:
清华大学精密仪器系,清华大学精密仪器系
【出 处】
:
电子工业专用设备
【发表日期】
:
1990年2期
【关键词】
:
电子束曝光机
气体支承
自吸式
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<正> 绪 言 气体静压支承采用 粘度较小的气体作为润 滑剂,具有以下几方面 的特点:(1)摩擦阻 力小,运动速度快; (2)运转平滑、精度高, 低速运动无爬行;(3)耐高、低温性能好,适应环境能力强;(4)正常工作时,磨损小、寿命长;(5)清洁度高。且气体可由支承排入大气,不污染环
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