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本文研究了以氧气作为载气，20℃时SiCl4的蒸发量与载气量、液面高度、液面尺寸及料温波动的关系，分析了影响因素，得出了SiCl4蒸发量与这些因素之间的变化规律，为准确控制了SiCl4流量提供了依据。
CVD工艺SiCl4蒸发量影响因素研究
【摘 要】
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本文研究了以氧气作为载气，20℃时SiCl4的蒸发量与载气量、液面高度、液面尺寸及料温波动的关系，分析了影响因素，得出了SiCl4蒸发量与这些因素之间的变化规律，为准确控制了SiCl4
【机 构】
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中国建材研究院
【出 处】
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中国建材科技
【发表日期】
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2000年6期
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