论文部分内容阅读
利用发射光谱法测量大气压He-Ar混合气体射频容性放电中的Ar亚稳态1s5（3s23p54s［3/2］2）粒子数密度。在不同的放电功率和气体组分下测量放电等离子体中的重要参数：气体转动温度、电子激发温度和Ar亚稳态1s5粒子数密度。结果表明：气体温度在不同放电功率及Ar气压在5×103 Pa以内时变化不大,范围为300~350 K；电子激发温度随着放电功率的增加而增加,并且在Ar气压为4×103 Pa时最大,在放电功率为70 W时达到0.58 eV；1s5粒子数密度随着放电功率以及电子