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暖热带泻湖的潮汐交换:桑给巴尔的楚瓦卡湾
【出 处】
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AMBIO-人类环境杂志
【发表日期】
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2020年1期
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低温半导体相的铁硅化合物β-FeSi2以其优越的性能在近几十年来受到了国内外相关人士的广泛关注，逐渐成为热电、光电子、微电子和光伏领域研究的热门话题。本文采用“室温直流对靶磁控溅射”+“后续气氛热退火”的两步法制备技术，在单晶硅衬底上外延生长单一相的高质量β-FeSi2薄膜，主要研究了后续退火工艺(包括退火时间、退火温度和升温速率)、单晶硅衬底晶格取向等外在因素，以及沉积薄膜中Fe/Si原子比、沉
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