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研制了一台相位成象声显微镜,可对样品反射信号的相位信息进行成象.其电路由插入PC机内的超高速A/D卡和快脉冲产生和接收卡组成.A/D卡采样率>109次/s,使用了周边元件扩展接口(PCI)总线和现场可编程门阵列(FPGA)技术;脉冲产生和接收卡能可靠接收、放大未经检波的回波,因而可精确获取未经检波的回波信号.然后利用软件完成相位检测及图象显示,还可通过数字检波获得样品幅度象.仪器工作频率为2~50MHz;可实时显示检测样品的A扫描及相位或幅度象.该仪器在微米级薄膜厚度、形状的测量和三维成象以及焊接质量的检