【摘 要】
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提出了一种新颖的运用于射频通信系统VCO中的RFMEMS可变电容.该电容使用平行板和T形梁结构,使用硅衬底,整个结构由铝材料组成,结构简单,与集成电路工艺兼容,从而能够实现片上
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提出了一种新颖的运用于射频通信系统VCO中的RFMEMS可变电容.该电容使用平行板和T形梁结构,使用硅衬底,整个结构由铝材料组成,结构简单,与集成电路工艺兼容,从而能够实现片上可变电容.通过静电力驱动上极板向下运动,电容值相应地发生改变,当上极板加电压从2.4V变化到4.3 V时,电容值从0.25 pF变化到0.33 pF,变化率为中心电容的27%.使用Coventor软件对该器件进行了模拟,给出的模拟结果包括容量、调节范围、瞬时响应、Pullin电压和运用该可变电容的VCO的电路模拟.
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