KrF准分子激光器光刻技术

来源 :世界电子元器件 | 被引量 : 0次 | 上传用户：winqstrong

【摘要】

：

<正> 半导体国片的尺寸已从150mm扩大到200乃至300mm。圆片尺寸的扩大无疑会提高芯片的产量。但要想达到这一目标,还需要解决一些相关的问题。例如,当前有必要开发可用于制

【作者】

：

肖迁

【出处】

：

世界电子元器件

【发表日期】

：

1996年2期

【关键词】

：

氟化氪准分子激光器光刻激光器

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

<正> 半导体国片的尺寸已从150mm扩大到200乃至300mm。圆片尺寸的扩大无疑会提高芯片的产量。但要想达到这一目标,还需要解决一些相关的问题。例如,当前有必要开发可用于制造0.25至0.30μm器件的KrF准分子激光器光刻技术。批量生产16兆位的DRAM采用了i线光刻技术。然而生产256兆位和集成度更高的器

其他文献

隗寿康：技术创新者不是人力资本

期刊

隗寿康技术创新者人力资本企业

走出大学生创业的误区

大学生创业,在我国,是近几年才兴起的新生事物.90年代末,我国高校兴起了大学生创业的热潮,大学生创业由此受到社会的广泛关注,从政府到学校,从社会到家庭,人们对大学生创业投

期刊

大学生创业市场意识核心竞争力素质能力

吉林省出台军转安置工作意见

近日，吉林省出台了《关于做好2004-2006年军队转业干部安置工作的意见》。

期刊

吉林军转安置工作军转干部服务质量

中国镉镍蓄电池的现状和发展

<正> 我国生产镉镍蓄电池已有40年的历史,已形成一个具有从极板、零部件以及生产测试设备设计制造到各类电池单体及电池组,以及电源系统的产业,研制和生产单位已遍布19个省市

期刊

镉镍蓄电池中国电池产品

继电器制造工艺面临新要求

<正> 自从1800年出现信号传输以来,大量的继电器已有各种不同的用途,作为转换器件,靠传输输入信号来控制通/断输出电路和进行电路切换。当前,继电器的世界市场估计是30～35亿美

期刊

继电器制造工艺电磁继电器

全球分子光谱市场持续增长

<正>根据Technavio最新市场研究报告,2016年全球分子光谱市场规模达44.5亿美元,2021年该市场将达57亿美元。预计2017~2021年全球分子光谱市场的复合年增长率将超过6%。Techna

期刊

分子光谱研发支出

卫星电视天线系统（二）

<正> 抛物面天线的弧度可以是较浅或者较深的。馈源将经过特别设计以适合特别的焦距与碟形天线的比值(f/D)或者有限的f/D范围。以传输的术语来表示,我们说,馈源“照射”着碟

期刊

卫星电视电视天线焦距f/D

计算机部件迅速发展笔记本机市场兴旺

奔腾(Pentium)笔记本计算机正处兴旺时期,去年价格下跌了40％,今年预计下跌30％;有些厂商已在扩大生产设施,以满足市场急增的需求。预计短期内的需求不会下跌,增加功能和降低价格

期刊

计算机部件笔记本计算机市场

应用EM技术处理生活污水的研究

应用活性污泥法投加EM菌对生活污水中化学需氧量、氨氮、总磷的去除效果进行了试验研究和分析.结果表明:EM对三类常见污染物均有一定去除效果.EM接种量(VEM:VDS)在1×10-

期刊

EM技术活性污泥法有效微生物群生活污水化学需氧量氨氮磷污水处理activated sludge processeffective microo

什么人创业能获得成功

期刊

创业者企业客户素质能力

KrF准分子激光器光刻技术

与本文相关的学术论文