【摘 要】
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综述了近年来与微型机电系统（MEMS）相关的材料微制造和微加工技术的最新研究进展.重点介绍了如何利用硅晶片作为微型模具来制备压电陶瓷和热电材料的微型柱状阵列结构和反应烧
【机 构】
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清华大学材料科学与工程系新型陶瓷与精细工艺国家重点实验室 北京 100084
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综述了近年来与微型机电系统（MEMS）相关的材料微制造和微加工技术的最新研究进展.重点介绍了如何利用硅晶片作为微型模具来制备压电陶瓷和热电材料的微型柱状阵列结构和反应烧结碳化硅微型转子等微制造技术,并展望了材料微制造技术在研制微型医疗器件和微型移动能源方面的应用前景.
Recent advances in micromachining and micromachining technology related to microelectromechanical system (MEMS) are reviewed in this paper.The micro columnar array structure and reaction of piezoelectric ceramics and thermoelectric materials are mainly introduced by using silicon wafer as a micro mold Sintered silicon carbide micro-rotor and other micro-manufacturing technology, and prospects of the material micro-manufacturing technology in the development of micro-medical devices and micro-mobile energy applications.
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