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为了给金刚石膜与硬质合金基体之间中间层的选用和设计提供有益的参考,采用三维热-力耦合有限元方法,研究了中间层对界面处热残余应力的影响。分别对有与没有中间层、以及不同的中间层材料和不同的中间层厚度(0.2~2μm)条件下界面处的热残余应力进行了模拟计算和比较。模拟结果表明,当选取热膨胀系数较小、弹性模量较低、厚度在1μm左右的中间层时,可使热残余应力的减小幅度增大,有利于金刚石膜在界面处的结合。