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Al表面条纹状准有序纳米结构的AFM研究

来源 :物理化学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：homking14

【摘 要】

：

用电化学抛光法在高纯铝表面生成纳米级条纹状的准有序结构.在原子力显微镜(AFM)下观察,条纹状结构的突起和凹槽部分线宽各为40～50 nm,峰-谷高度差为1.5～5.0 nm.随工艺条件的变

【作 者】

：

郭等柱 侯士敏 申自勇 张耿民 赵兴钰 刘惟敏 吴锦雷 薛增 

【机 构】

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北京大学电子学系

【出 处】

：

物理化学学报

【发表日期】

：

2001年11期

【关键词】

：

铝表面 电化学抛光 阳极氧化 AFM 条纹状准有序纳米结构 形成机理 aluminum surfaces electropolishing stripe str 

【基金项目】

：

国家自然科学基金，高等学校博士学科点专项科研项目，北京市自然科学基金

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用电化学抛光法在高纯铝表面生成纳米级条纹状的准有序结构.在原子力显微镜(AFM)下观察,条纹状结构的突起和凹槽部分线宽各为40～50 nm,峰-谷高度差为1.5～5.0 nm.随工艺条件的变化该纳米结构的尺寸和有序程度有较大差异,只有在很窄的参数范围内才可以得到大面积有序的条纹状结构.在用阳极氧化法制备多孔膜过程中该结构不能保持,对这种有序结构的形成机理提出了定性解释.

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