【摘 要】
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<正> TMG 是制备砷化镓系列半导体薄膜普遍应用的金属源。它具有较大的蒸汽压和稳定性。通常制备 TMG 的方法是通过三氯化镓与其它金属有机化合物进行甲基交换反应来完成。由
【机 构】
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山东大学晶体材料研究所,山东大学晶体材料研究所,山东大学晶体材料研究所,山东大学晶体材料研究所,山东铝厂研究所
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<正> TMG 是制备砷化镓系列半导体薄膜普遍应用的金属源。它具有较大的蒸汽压和稳定性。通常制备 TMG 的方法是通过三氯化镓与其它金属有机化合物进行甲基交换反应来完成。由于三氯化镓的易水解和有机金属化合物的不稳定性以及直接精馏提纯 TMG 都给实验带来了很大的危险性。我们应用单质镓在格氏试剂的乙醚溶液中直接电解,使格氏试剂中的甲基在电场作用下转移到金属镓上。一步完成 TMG 乙醚加合物的合成。
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