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本文给出了微波等离子体化学气相沉积多晶金刚石薄膜及外延单晶金刚石薄膜的各种形貌,并对这些形貌的形成做了理论分析。
微波等离子体化学气相沉积金刚石薄膜形貌分析
【摘 要】
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本文给出了微波等离子体化学气相沉积多晶金刚石薄膜及外延单晶金刚石薄膜的各种形貌,并对这些形貌的形成做了理论分析。
【机 构】
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机电部郑州磨料磨具磨削研究所,兰州大学
【出 处】
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高压物理学报
【发表日期】
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1991年3期
【基金项目】
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“863”资助项目
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