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研究了多孔氧化铝薄膜的制备工艺以及影响其成孔效果的主要因素。采用分步阳极氧化的方法和适当的工艺步骤获得了孔洞分布均匀、孔径一致且耐水合的多孔氧化膜，此类氧化薄膜在经过后续的特殊处理后可以用于制备湿度传感器和AAO薄膜。
多孔氧化铝薄膜的制备
【摘 要】
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研究了多孔氧化铝薄膜的制备工艺以及影响其成孔效果的主要因素。采用分步阳极氧化的方法和适当的工艺步骤获得了孔洞分布均匀、孔径一致且耐水合的多孔氧化膜，此类氧化薄膜在
【机 构】
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电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室
【出 处】
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材料导报
【发表日期】
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2010年2期
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