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简要回顾了莫尔条纹技术在光刻机的掩模－硅片对准系统中的应用，介绍了国际上该项技术的应用现状，分析了其优势和局限性，对今后的发展方向作了简要的概括．
莫尔条纹技术应用于掩模－硅片的自动对准
【摘 要】
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简要回顾了莫尔条纹技术在光刻机的掩模－硅片对准系统中的应用，介绍了国际上该项技术的应用现状，分析了其优势和局限性，对今后的发展方向作了简要的概括．
【机 构】
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中国航空精密机械研究所
【出 处】
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航空精密制造技术
【发表日期】
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1994年5期
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