【摘 要】
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清洁生产技术越来越受到重视,我国已经将推进清洁生产提到法律的高度。通过在芯片凸点电镀过程中优选电镀液配方及施镀方式,采用等离子清洗技术,优化阴极夹具,改善镀层厚度均
【机 构】
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中国电子科技集团公司第二十四研究所,
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清洁生产技术越来越受到重视,我国已经将推进清洁生产提到法律的高度。通过在芯片凸点电镀过程中优选电镀液配方及施镀方式,采用等离子清洗技术,优化阴极夹具,改善镀层厚度均匀性等措施,达到提高资源利用率,减少污染物的产生,减轻对人和环境危害的目的。
More and more attention has been paid to clean production technology. Our country has promoted the promotion of cleaner production to the height of law. By optimizing the formula and plating method of plating solution, adopting plasma cleaning technology, optimizing cathode fixture, and improving coating thickness uniformity during chip bump electroplating, measures such as improving resource utilization, reducing pollutants, The purpose of environmental damage.
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