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5 离子散射谱 (ＩＳＳ)表面原子的质量及结构可由离子散射谱测定。按入射离子的能量大小 ,可分为低能ＩＳＳ (ＬＥＩＳＳ)、中能ＩＳＳ(ＭＥＩＳＳ)和高能ＩＳＳ(ＨＥＩＳＳ ,或卢瑟福背散射ＲＢＳ)。在一般表面分析实验室 ,常用ＬＥＩＳＳ ,故本章只讲述这一方法。不过应指出 ,ＬＥＩＳＳ与ＭＥＩＳＳ、ＨＥＩＳＳ之间存在着两个本质区别 :(1)ＬＥＩＳＳ有较大的离子 -原子相互作用截面 ;(2 )ＬＥＩＳＳ中入射的惰性气体离子有较大的中和化几率 ,这就使得ＬＥＩＳＳ成为所有表面分析技术中表面最敏感的技术 ,