Effect of the Heat Treatments on the Dopes Segregation in Polycrystalline Silicon Films

来源 :现代物理(英文) | 被引量 : 0次 | 上传用户:kj8231926
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In this work we are interested in studying the effect of the heat treatments on the dopant segregation at the grain boundaries in the polycrystalline silicon films. The obtained results have shown that the heat treatments reduce the number of segregation
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