【摘 要】
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叙述了一种减小硅外延自掺杂影响的改进的二步外延法：减压－常压二步法。采用该方法所生长的外延层，其过渡区明显小于常规二步法的结果，和单纯减压方法所得的结果相当，外延层晶格质
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叙述了一种减小硅外延自掺杂影响的改进的二步外延法：减压－常压二步法。采用该方法所生长的外延层，其过渡区明显小于常规二步法的结果，和单纯减压方法所得的结果相当，外延层晶格质量明显优于单纯减压外延的结果。
An improved two-step epitaxial method is presented to reduce the effect of self-doping of silicon epitaxy: a decompression-normal pressure two-step method. The epitaxial layer grown by this method has a transitional region smaller than that of the conventional two-step method, which is equivalent to that obtained by the simple decompression method. The lattice quality of the epitaxial layer is obviously better than that of pure decompression epitaxy.
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