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全色波段硅双结型色敏器件的研制
全色波段硅双结型色敏器件的研制
来源 :光电子技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:persistence2005
【摘 要】
:
通过理论分析得出硅双结型色敏器件中掺杂浓度和两个结的结深是影响光谱响应范围的主要因素.通过选择不同的器件结构和工艺条件,得到了色敏器件对蓝紫光的响应,完成了全色波
【作 者】
:
韦冬青
陈炳若
钟茗
李云虎
杨雨佳
【机 构】
:
武汉大学物理与科学技术学院
【出 处】
:
光电子技术
【发表日期】
:
2004年3期
【关键词】
:
双结型硅色敏器件
金色波段
结深
短路电流比
Si color sensor with double PN junction
panchromatic wav
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通过理论分析得出硅双结型色敏器件中掺杂浓度和两个结的结深是影响光谱响应范围的主要因素.通过选择不同的器件结构和工艺条件,得到了色敏器件对蓝紫光的响应,完成了全色波段硅双结型色敏器件的研制.
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