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利用低能离子束技术,把甲烷（CH4）气体离解,在石英和单晶硅片表面沉积类金刚石膜（DLC膜）,研究了该膜在可见光区的光学特性与沉积参数的关系。在单晶硅太阳电池表面,沉积DLC膜作为减反膜及保护膜的研究,获得了有减反膜的单晶硅太阳电池效率比无减反膜电池效率提高了28%以上的结果。更多还原
离子束沉积类金刚石膜作为太阳电池减反射涂层研究
【摘 要】
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利用低能离子束技术,把甲烷（CH4）气体离解,在石英和单晶硅片表面沉积类金刚石膜（DLC膜）,研究了该膜在可见光区的光学特性与沉积参数的关系。在单晶硅太阳电池表面,沉积DLC膜作为
【机 构】
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四川大学原子核科学技术研究所,四川大学原子核科学技术研究所610064,610064,610064
【出 处】
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真空科学与技术
【发表日期】
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1992年6期
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