不同电压下静电驱动膜片弹性变形分析

来源 :上海电力学院学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:cntanmingyong
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基于静电场和弹性薄板理论,建立了周边固支边界条件下静电驱动圆膜弯曲的理论模型,同时对比两种情况得出了在不同驱动电压下的位移分析.通过计算实例获得了其结构的振动振型、谐振频率及极限加载电压,利用Ansys软件针对静电驱动结构的振动进行了模态分析,得到了其振动模态振型和固有频率.
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