ZnO、SnO_2复合UPF的热处理特性及其显微结构

来源 :传感器技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：Guihuaxuetu

【摘要】

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采用直流气体放电活化反应蒸发沉积法制备的氧化锌、氧化用超微粒复合膜进行热处理，并对热处理前后样品的微观结构及所产生效应的机理进行了讨论． Zinc oxide prepared by DC

【作者】

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王巍王声乐潘孝仁

【机构】

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淮北煤炭师范学院物理系!淮北,235000,淮北煤炭师范学院物理系!淮北,235000,华东理工大学

【出处】

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传感器技术

【发表日期】

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1997年05期

【关键词】

：

显微结构超微粒薄膜 UPF ZnO SnO_2 晶相结构复合膜微观结构蒸发沉积气体放电

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采用直流气体放电活化反应蒸发沉积法制备的氧化锌、氧化用超微粒复合膜进行热处理，并对热处理前后样品的微观结构及所产生效应的机理进行了讨论． Zinc oxide prepared by DC gas discharge activation evaporation deposition method was used for heat treatment. The microstructure of the sample before and after heat treatment and the mechanism of the effect were discussed.

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