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建立了电感耦合等离子体光谱测定镍基高温合金中硅、锰、磷元素的方法，优化了试样前处理方法，对前处理所用酸的酸度进行不同比例试验，确定了仪器测量条件及分析谱线。在一定浓度范围内，各元素的浓度与谱线强度呈线性关系，相关系数大于0．9999。加标回收率为93．3％～106．7％，测定结果的相对标准偏差小于3．0％（n=10）。该方法具有良好的精密度和准确度，能够满足日常分析中对镍基高温合金中硅、锰、磷含量测定的需要。