【摘 要】
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研究了一种新型微机电系统(MEMS)加速度计,利用双面四端固支的三维对称结构从根本上消除了横向干扰。基于工程力学原理建立了双面四端固支结构的解析模型,分析了该结构的灵敏
【机 构】
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中国电子科技集团公司第四十九研究所
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研究了一种新型微机电系统(MEMS)加速度计,利用双面四端固支的三维对称结构从根本上消除了横向干扰。基于工程力学原理建立了双面四端固支结构的解析模型,分析了该结构的灵敏度、频率响应、横向灵敏度等主要性能。通过有限元仿真,优化了敏感结构的尺寸。该敏感结构设计量程20×10^4 g n,灵敏度大于0.8μV/g n/10VDC,横向灵敏度比小于1%,谐振频率大于613 kHz,满足工程应用要求。提出了基于体硅MEMS技术的制作工艺方案。
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