【摘 要】
：
提出了一种MEMS后处理中正面结构释放的正面保护方法．尤其是针对在CMOS-MEMS工艺制造单片集成传感器时，MEMS后处理工艺中正面体硅湿法腐蚀时对已制作完成的CMOS电路部分的表面
论文部分内容阅读
提出了一种MEMS后处理中正面结构释放的正面保护方法．尤其是针对在CMOS-MEMS工艺制造单片集成传感器时，MEMS后处理工艺中正面体硅湿法腐蚀时对已制作完成的CMOS电路部分的表面铝引线、铝焊盘和钝化层下多晶层的保护方法．将一种新型的复合膜结构和优化后的TMAH腐蚀液相结合，可以保证长时间高温腐蚀时腐蚀液不会渗透到钝化层下，同时完成正面MEMS结构释放．具有与CMOS工艺兼容、工艺实现简单等特点．
其他文献
本文主要从文献及临床研究方面对靳三针治疗腰椎间盘突出症的临床疗效进行观察、归纳和总结。腰椎间盘突出症(Lumber Disc Herniation,简称LDH)属于中医学“腰痛”、“痹证”
VTK是国外开发的集计算机图形、图像处理和可视化于一体的工具开发包,具有高度的灵活性、可移植性。提出一种使用VTK类库实现三维拾取的方法,能够将用户指定的屏幕坐标转化为
烟草自明嘉靖二十八年到嘉靖三十七年（1549年——1558年）之间传人中国后，传播速度很快。明末的谈迁曾描述当时烟草的种植情形时说：“今艺及江南、北”。清初的王士祯在《香祖笔记
为了实现对实体机器人逼真的模拟和准确的反馈,设计了一套具有一定通用性的机器人虚拟仿真系统,并在系统中对虚拟物体采用分类策略成功地将AABB与SWIFT++算法相结合,兼顾了仿
研究目的多囊卵巢综合征(PCOS)是一种以卵泡发育障碍、胰岛素抵抗和雄激素过多为其特征性改变的病因复杂的神经内分泌、代谢性疾病。是以慢性无排卵、闭经或月经稀发、不孕、
针对SSL协议中握手协议的工作过程,详细描述了如何使用椭圆曲线密码算法对SSL协议做算法扩展,实现了椭圆曲线密码算法库以及ECDSA、ECDH密钥交换算法,对SSL握手协议使用的X.5
在不同文化背景下的企业重组过程中,企业文化作为一种能够凝聚和激励员工积极性、主动性和创造性的精神力量,已经成为构建和谐内部环境的粘合剂和思想感情基础,其作用不可或
钙是人体健康和长寿的不可缺少的重要金属元素,在人体中约占总体重的1.5%～2.0%。它在人体神经、肌肉应激、神经冲动传导、心脏节律维持、血液凝固、细胞粘着等生理过程中发挥
条件句是英语教学中最难处理的语法专题之一，不论从句法结构上还是语义上都很微妙，有时甚至连英语为本族语的人都难以理解，目前也还没有全面系统的描述。现行描写多集中于真实条
英语名词词组中前置/后置修饰语的选择与转化是人类认知与客观世界互动的结果在英语中的反映。前置/后置修饰语的选择发生在宏观、中观和微观三个层面,它们都可以从修饰语是