【摘 要】
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四极杆质谱计是目前最成熟、应用最广泛的小型质谱计之一.四极杆质量分析器是四极式质谱仪的核心部件,使离子在四极场中受到强聚焦作用而向分析器的中心轴聚焦.四极质量分析
【机 构】
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中国工程物理研究院机械制造工艺研究所超精密加工技术重点实验室
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四极杆质谱计是目前最成熟、应用最广泛的小型质谱计之一.四极杆质量分析器是四极式质谱仪的核心部件,使离子在四极场中受到强聚焦作用而向分析器的中心轴聚焦.四极质量分析器零件主要精度误差都要求小于0.002mm,且组件平行度、位置度误差要求均小于0.004mm,传统装配方法已经很难满足精度要求.提出了一种基于手工修研的装配方法,利用该方法装配了一套150型四极质量分析器,最高装配内切圆精度误差小于0.0015mm.
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