线光栅扫描实现衍射图形的矢量化直写

来源 :光电子技术与信息 | 被引量 : 0次 | 上传用户：popwoool20

【摘要】

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在双光束激光直写系统中,衍射光变图像的光刻是逐像素点进行的.本文提出在该系统中采用狭缝获得光栅线来进行衍射图形的直写,利用一种改进的矢量文件格式,使平台沿着垂直光栅

【作者】

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魏国军徐兵陈林森

【机构】

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苏州大学信息光学工程研究所

【出处】

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光电子技术与信息

【发表日期】

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2004年6期

【关键词】

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激光直写双光束干涉 DXF文件矢量文件衍射光变图像 laser direct writing double beams interference DXF

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在双光束激光直写系统中,衍射光变图像的光刻是逐像素点进行的.本文提出在该系统中采用狭缝获得光栅线来进行衍射图形的直写,利用一种改进的矢量文件格式,使平台沿着垂直光栅线的方向运动,获得连续的多光点同时直写,直写后的衍射光栅线是连续的,系统的运行效率是逐点光刻的几十倍.编写了与DXF文件的接口直写控制程序,给出了实验结果.

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