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介绍了用NH3-MBE技术在蓝宝石C面上外延的高质量的GaN单层膜以及GN/AlN/GaN极化感应二维电子气材料。外延膜都是N面材料。形成的二维电子气是“倒置二维电子气”。GaN单层膜的室温电子迁移率为300cm^2/Vs。二维电子气材料的迁移率为680cm^2/Vs(RT)和1700cm^2/Vs(77K),相应的二维电子气的面密度为3.2*10^13cm^-2(RT)和2.6x10^13cm^