大功率激光光路环境控制装置设计

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光路内环境的洁净度、温度、相对湿度对大功率激光的传输、发射会产生重要影响,采用充入非吸收气体的方法不适用于腔体壁厚较薄、含有窗口和旋转关节的结构,针对光路结构特点,设计了激光光路环境控制装置,采用充气控制器采集压差、温差、相对湿度及洁净度参数,自动控制电控球阀与排气电磁阀的启闭,通过自动充排气充入高纯氮气、液氮,排出原有气体,并保持压差在合理范围内,实现了对光路内环境的洁净度、相对湿度和温度的控制,保证了高能激光光束的传输质量。
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