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氮气分压增加使等离子体增强磁控溅射离子镀ＴｉＮ涂层的相组成朝着富氮相及其含量增加的方向发展，由Ｔｉ２Ｎ和ＴｉＮ两相组成的涂层硬度最高，可达ＨＫ２５００；由Ｔｉ２Ｎ和ＴｉＮ两相组成的刀具涂层硬质合金刀具切削力下降，可明显提高刀具使用寿命。
PEMSIP法沉积的TiN涂层对硬质合金刀具切削性能的影响
【摘 要】
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氮气分压增加使等离子体增强磁控溅射离子镀ＴｉＮ涂层的相组成朝着富氮相及其含量增加的方向发展，由Ｔｉ２Ｎ和ＴｉＮ两相组成的涂层硬度最高，可达ＨＫ２５００；由Ｔｉ２Ｎ和ＴｉＮ两相组成的刀具涂层硬质合金刀具切削力下降，可
【机 构】
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大连理工大学
【出 处】
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工具技术
【发表日期】
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1995年4期
【基金项目】
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国家重点实验室资助
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