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利用射频辉光放电光谱仪可逐层进行成分分析的特点,对磁控溅射所镀钛膜进行研究,分析了钛膜中元素成分组成,并通过对钛膜中所含元素Ti,Mo,C,O,N的光谱电压信号与各元素原子百分含量的灵敏度系数标定,建立了钛膜的厚度及致密度的分析方法,使用该方法对三种不同制备条件的钛膜的增重进行计算并与称重法进行对比,两者相对误差为1%,验证了方法的可靠性。