【摘 要】
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以氧化锌钛陶瓷靶作为溅射源，采用磁控溅射技术在玻璃衬底上制备了掺钛氧化锌（TZO）透明导电薄膜，通过x射线衍射仪和分光光度计测试表征以及全光谱拟合法分析，研究了生长温度对TZO
【机 构】
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中南民族大学电子信息工程学院,中南民族大学等离子体研究所
【基金项目】
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湖北省自然科学基金资助项目（2011CDB418）,中南民族大学研究生创新基金（chxxyz120023）
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以氧化锌钛陶瓷靶作为溅射源，采用磁控溅射技术在玻璃衬底上制备了掺钛氧化锌（TZO）透明导电薄膜，通过x射线衍射仪和分光光度计测试表征以及全光谱拟合法分析，研究了生长温度对TZO薄膜晶体结构和光学性质的影响．结果表明：所有TZO样品均为六角纤锌矿结构，并具有（002）择优取向，生长温度对薄膜晶粒尺寸和光学透射率的影响较明显，而对折射率、消光系数和光学能隙的影响较小．当生长温度为200℃时，TZO薄膜的晶粒尺寸最大，可见光范围平均透射率（含衬底）为76．1％，对应的直接光学能隙为3．45eV．
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