半导体制造设备的进步 支撑半导体产业的持续发展

来源 :集成电路应用 | 被引量 : 0次 | 上传用户:ronaldocjz
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
随着集成电路技术的发展,半导体加工工艺面临特征尺寸的减小,新材料以及新结构的导入等诸多技术变革点。这些技术变革都对半导体制造设备提出了新的要求及挑战。本文将从工艺技术和量产技术两个方面,阐述半导体制造设备是如何应对先进工艺,克服挑战,并支撑着半导体技术的发展。
其他文献
<正>中央电视台10套《百科探秘》栏目曾经特别介绍了一种大家习以为常的植物——大麦嫩苗。这种植物到底有什么特别之处,能让央视的《百科探秘》去寻根究底呢?大麦嫩苗和一个
现在建筑市场为买方市场,工程建设单位及房地产开发商面对众多的施工企业进行工程造价的压价,想方设法从最低的造价建设工程项目,越来越多的农民,大包队伍对大型建筑企业冲击
目的 :调查社区老年人衰弱发生现状,并探讨其影响因素。方法 :采用方便抽样的方法,对北京市两个城区8个社区683名居家老年人进行问卷调查及身体评估。结果 :683例老年人中不
工程项目管理体制与方法的不断发展,为进一步提高建筑企业项目管理能力与水平提供了有效的工具。在保证工程施工质量的前提下,实现项目利润最大化,成本核算与控制成为了核心
近年来,经常会有患者拿着检查报告单,说当地医生告知,自己的鼻炎、咳嗽、湿疹、荨麻疹等各种症状,都是牛奶等食物惹的祸。食物IgG的阳性被有些医生解读为“慢性过敏”,告诉患者“
报纸
为实现集成电路产业跨越式发展,多年来我国已出台多种措施促进集成电路产业发展,虽取得一定成效,但从目前发展趋势看,差距正进一步被拉大,为何国家支持力度如此之大但关键核
<正>能力验证是利用实验室间比对确定实验室的检测能力,通过中国合格评定国家认可委员会(CNAS)认可的实验室,每三年都必须参加一次能力验证活动。现在由于实验室人员流动性大
唐代最少有28位公主度为女道士,此外还有大量的妃嫔宫女,以往主要依靠《唐书·公主传》,现在可以获得其他史料如十篇墓志铭,大部分也是新出土的,如金仙公主墓志、玉真公主二儿媳的
报纸
目的研究早期营养干预预防高风险婴儿过敏症状的效果,为临床提供指导。方法 40例高风险过敏婴儿,随机分为实验组与对照组,各20例。对照组婴儿接受常规喂养,实验组婴儿接受早
北京的地热开发利用经历了几十年,具有了相当的规模,但是目前还处于粗放模式。为了充分有效的发挥优质清洁能源的优势,需要计算地热集中供暖的碳减排量再进入到碳交易市场。