紫外光辐照Bi4-xNdxTi3O12薄膜制备工艺

来源 :稀有金属材料与工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户：ladiylove

【摘要】

：

以Pt（111）／Ti／SiO2/Si为基片，采用溶胶凝胶法，通过紫外光辐照钕掺杂钛酸铋（Bi4-xNdxTi3O12，x=0．25，0．75）胶体，分别采用电泳沉积和甩胶沉积制备薄膜，并对比了制备的薄膜质量。通过差热-热重

【作者】

：

肖立华王文孟庆昌柯华贾德昌周玉

【机构】

：

哈尔滨工业大学

【出处】

：

稀有金属材料与工程

【发表日期】

：

2009年A02期

【关键词】

：

Bi4-xNdxTi3O12薄膜溶胶-凝胶紫外光辐照 Bi4-xNdxTi3O12 thin films sol-gel processing UV-irr

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以Pt（111）／Ti／SiO2/Si为基片，采用溶胶凝胶法，通过紫外光辐照钕掺杂钛酸铋（Bi4-xNdxTi3O12，x=0．25，0．75）胶体，分别采用电泳沉积和甩胶沉积制备薄膜，并对比了制备的薄膜质量。通过差热-热重分析（DSC—TG）、X射线衍射（XRD）、原子力显微镜（AFM）等技术手段对Sol—Gel法制备的BNT薄膜进行了表征。研究结果表明，经紫外光辐照和电泳沉积制备的Bi4-xNdxTi3O12（x=0．25，0．75）薄膜于300℃煅烧有机物，500℃随炉热处理，可得到均匀致密且（11

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