GaAs微条粒子探测器的设计

来源 :固体电子学研究与进展 | 被引量 : 0次 | 上传用户：hernquist

【摘要】

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介绍了最新研制成功的GaAs微条粒子探测器的芯片设计和工艺设计.每一微条长度均为1 7 000μm,宽度分别为20、50、100、200和300 μm.微条间距有50、100、200和300 μm四种,芯

【作者】

：

邵传芬史常忻凌行温伯莹

【机构】

：

上海交通大学微电子技术研究所,上海大学理学院

【出处】

：

固体电子学研究与进展

【发表日期】

：

2004年1期

【关键词】

：

GAAS 微条粒子探测器反向电击穿二极管 microstrip GaAs detector

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介绍了最新研制成功的GaAs微条粒子探测器的芯片设计和工艺设计.每一微条长度均为1 7 000μm,宽度分别为20、50、100、200和300 μm.微条间距有50、100、200和300 μm四种,芯片面积为5.95 mm×17.00 mm.微条粒子探测器的反向击穿电压最高达240 V,反向漏电流密度最低为0.025μA/mm2.它对光照有强烈的敏感性.微条粒子探测器的辐照特性见其它论文报道.

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