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本文介绍国际上新开发出来的ECR等离子CVD技术。着重介绍该技术的优越性、成膜装置、成膜工艺及ECR等离子薄膜技术的应用。
ECR等离子CVD技术
【摘 要】
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本文介绍国际上新开发出来的ECR等离子CVD技术。着重介绍该技术的优越性、成膜装置、成膜工艺及ECR等离子薄膜技术的应用。
【机 构】
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南京电子器件研究所
【出 处】
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真空电子技术
【发表日期】
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1990年2期
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