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和传统的传感器相比,微型传感器具有许多新特性,它们能够弥补传统传感器的不足,具有广泛的应用前景,越来越受到重视.文中详细介绍了一些微型传感器件的结构和原理,说明了微型传感器的基本性能特点和微型传感器的发展趋势.
基于MEMS技术的微型传感器
【摘 要】
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和传统的传感器相比,微型传感器具有许多新特性,它们能够弥补传统传感器的不足,具有广泛的应用前景,越来越受到重视.文中详细介绍了一些微型传感器件的结构和原理,说明了微型
【机 构】
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武汉理工大学机电工程学院
【出 处】
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仪表技术与传感器
【发表日期】
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2005年9期
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