【摘 要】
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供研究的真空紫外(VUV)氙共振辐射源是一射频激发的、直径12mm长40mm的氦-氙放电等离子体.用四能级氙原子模型计算了氦-氙混合气不同比例和压强时的VUV输出特性,并用事先绝对
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供研究的真空紫外(VUV)氙共振辐射源是一射频激发的、直径12mm长40mm的氦-氙放电等离子体.用四能级氙原子模型计算了氦-氙混合气不同比例和压强时的VUV输出特性,并用事先绝对标定的VUV探测系统测定了各种放电条件下的VUV输出.理论计算和实验测量符合较好.研究表明,在充气400Pa,含氙量2.5%时,此辐射源的VUV(λ=147.0nm)轴向亮度有最大值10W/(sr·m~2),即7.4×10~(17)个光子/(sr·m~2·s).
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