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针对硅烷热分解生产多晶硅的过程，建立了基于动量、质量、能量同时传递并耦合硅烷热分解反应的硅烷-氢气化学气相沉积模型，采用计算流体力学方法分析了传统钟罩式硅烷反应器内的流场、温度场和浓度场。针对普通反应器内存在的死区以及沉积速率不均匀的问题，提出了新型的带出气筒的反应器结构，并对结构进行了数值模拟。计算结果表明，与普通钟罩式硅烷反应器相比，新型反应器的流场、温度场以及硅烷浓度分布更加合理，有效减小了反应器内的漩涡，缓解了气体在进出口间的“短路”现象，使硅棒表面的沉积速率更加均匀。