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为了快速、准确地检测出SF6/N2混合气体各组分浓度,考虑微量空气的渗入对其影响,给出了一种恒温控制下基于微流量热导传感器的SF 6/N 2浓度检测方法,并结合电化学传感器的微量O 2浓度检测原理,设计出了应用于现场分析的混合气体各组分浓度检测的整体方案,并对其进行了实验验证。实验结果表明:在传感器有效测试浓度范围内,此系统检测精度高(全量程平均测量误差±1%以内)、响应速度快、重复性好、性能稳定。