【摘 要】
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在超高真空磁控溅射仪上，制备了一系列具有相同调制周期不同层厚比的Cr／CrN涂层。用X射线衍射仪分析了涂层的相组成，通过扫描电镜观察了涂层形貌，采用显微硬度计测试了涂层硬度，在
【机 构】
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江苏省先进结构材料与应用技术重点实验室,南京工程学院材料工程学院,东南大学材料科学与工程学院
【基金项目】
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国家自然科学青年基金(51301087);国家自然科学青年基金(51201033);南京工程学院校级科研基金项目资助(YKJ201210);江苏省大学生实践创新训练计划项目(201411276002Z);南京工程学院大学生科技创新基金(N20140224);南京工程学院校级青年基金一般项目(QKJB201202)
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在超高真空磁控溅射仪上，制备了一系列具有相同调制周期不同层厚比的Cr／CrN涂层。用X射线衍射仪分析了涂层的相组成，通过扫描电镜观察了涂层形貌，采用显微硬度计测试了涂层硬度，在划痕仪上确定涂层和基体问的结合力，并利用磨损仪测量涂层的摩擦磨损性能。结果表明：调制周期为400nm时，当层厚比由2.0减小到0.2，Cr／CrN多层涂层始终由Cr和CrN两相组成，涂层择优取向为CrN（200），且涂层变得愈加致密，硬度从1550HV增大到2300HV，磨损率从2.4×lO^3mm^3·N^1&
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