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采用离散谱折射率法对深刻蚀GaAs/GaAlAs多层脊形光波导的特性作了详细的理论分析，并对所获得的较大截面、低损耗的单模脊形光波导的制作容差性作了进一步的分析．计算表明，用离散谱折射率法获得的单模脊形光波导具有较大的制作容差性．
离散谱折射率法优化设计深刻蚀、单模GaAs/GaAlAs脊形光波导
【摘 要】
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采用离散谱折射率法对深刻蚀GaAs/GaAlAs多层脊形光波导的特性作了详细的理论分析，并对所获得的较大截面、低损耗的单模脊形光波导的制作容差性作了进一步的分析．计算表明，用离
【机 构】
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浙江大学信息与电子工程学系,
【出 处】
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半导体学报
【发表日期】
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2004年期
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